计量是测量的科学及应用。只有测得出，才能造得出；只有测得准，才能造得精。纳米计量是实现纳米制造准确的前提和保障。面向纳米制造产业的“扁平化、嵌入式、小型化”等现场计量需求云浮pvc管道胶水，我国科学的成果，为集成电路等纳米制造域提供了用于仪器校准与标定的“标尺”。

7月8日，2025年度国科学技术揭晓。由同济大学牵头完成的“量子化光晶格常数的纳米计量关键技术及集成电路应用”项目荣获国科学技术进步等，项目由同济大学、上海御微半体技术有限公司、计量科学研究院、桂林电子科技大学，上海市计量测试技术研究院有限公司作完成。项目团队抓住单位制（SI）量子化变革的机遇，历经二十余年攻关，发明了量子化光晶格常数的纳米计量技术，缩短了纳米计量传递链，提升了扁平化水平，适用于解决产业应用问题。

受访者供图

在具体的产业应用中，这种精度的标准扮演着“校准器”的角，直接关乎端量测设备的准确。

把的量子化纳米标尺，其刻度归根结底由原子构成。原子在固定位置，排列得越整齐，刻度才越，纳米标尺就越准确。可是，如何让亿万个原子准确均匀致地排列到量子化常数的固定位置上呢？

项目团队完成人，同济大学物理科学与工程学院长聘教授，国集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海）（筹）主任邓晓对财经记者解释，该项技术创新的核心在于自然常数的“物化”。例如，传统标准物质量值依赖校准和标定，而他们团队直接从原子跃迁波长出发，将“米”定义的复现融入纳米尺度标准物质制造和应用全过程，研制了直接溯源的“纳米尺”。

他们创新采用了“量子化光晶格”技术。“量子化”云浮pvc管道胶水，源于铬原子在真空中的量子跃迁波长——的量子化纳米常数。利用光频梳把激光锁定在这个量子化波长上，两束相向而行的激光便在空间中叠出列明暗相间、周期恒定的驻波，这就是“量子化光晶格”——宛如用光铸成的“模具”，格点周期（即晶格常数）恰好等于量子化激光波长的半，与铬原子的量子化跃迁波长这自然常数牢牢“锁定”。

随后，经激光横向冷却而“安静”下来的铬“冷原子”穿过光晶格，被光场逐引、落位到格点之上，在基底上生长出排排整齐的刻线。刻度不是机器刻出来的，而是原子照着自然界常数这张“图纸”自己“站”出来的——机器会磨损、会漂移，保温护角专用胶但自然界常数不会，因此刻度就是的、致的。

基于上述原理，项目团队创建了量子化光晶格物化为直接溯源光栅标准的稳制造技术和装置，系列光栅获批5项国标准物质。还次建立了我国纳米尺度下的角度标准物质。

传统纳米计量为纳米制造产业提供校准和标定，需要多的量值传递，好比场“接力赛”，每“接力”次，累积误差就会增加。

而量子化光晶格常数铸出的“纳米标尺”，是具备复现“米”定义的标准物质，须层层“接力”，可以实现产业现场步校准、直接溯源，适用于“扁平化、嵌入式、小型化”等现场应用需求强的场景。

随着当前的纳米制造与原子制造正在持续向前进，对测量尺度的需求是确定的趋势。

该成果作为核心技术之，支撑实现“我国批端仪器装备计量测评装置研制成功”。项目团队正是用这理念，为解决集成电路量检测设备所需晶圆标准片的制造、定值和应用难题提供了特案，系列晶圆标准片获批国二标准物质，在国产集成电路量检测设备企业实现应用，2025年也入选工信部批适用技术名单。

从技术前瞻的角度来看，该项目抓住了计量学“计量单位量子化”与“量值传递扁平化”的发展趋势。“项目基于量子化光晶格常数为纳米制造铸造的‘标尺’，将有力支撑纳米制造产业质量发展。”邓晓接受记者采访时说。 举报 财经广告作，请点击这里此内容为财经原创，著作权归财经所有。未经财经书面授权，不得以任何式加以使用，包括转载、摘编、复制或建立镜像。财经保留追究侵权者法律责任的权利。如需获得授权请联系财经版权部：banquan@yicai.com 文章作者

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